粉体粒子への金属蒸着装置
◆ MPVAP-Powder ◆
粉体試料・粒子の表面に金属膜を真空蒸着する装置
※実際の商品は写真と一部異なる場合があります。
粒状や粉末タイプの試料表面に各種金属薄膜をコートするための真空蒸着装置です。 蒸発源を上方から下向きに蒸発させることを可能にすることにより、固定できない粒子状試料への蒸着を可能にしました。 当社発案のバイブレーション試料台を搭載し、試料を振動・回転させながら蒸着できます。 粒子の回転により、粒子各面に均一な蒸着が可能で、蒸着斑が大幅に改善できます。
お客様の既存の真空蒸着装置に、当社バイブレーション試料台と逆さま蒸発坩堝を組み込んで搭載させることも可能ですので、
お気軽にお問い合わせください。
白い微小ゴムボールに銅膜を蒸着し
カラフルにした応用例
グラファイト粒子の光学顕微鏡像
Siコートされたグラファイト粒子
異形のグラファイト粒子の表面にSiを蒸着した場合の蒸着前後の光学顕微鏡写真。 グラファイトにSiを蒸着することにより、リチウムイオン電池の負極材としての電池容量が大幅に向上するとともに、 サイクル特性も格段に向上すると報告されている。