★　MPCVD-Laser　★ レーザーアシストCVD装置 - (株)マイクロフェーズ

概　要 :
市販のファイバーレーザー加工機の試料室に、反応性ガス（炭化水素ガスやアンモニアガスなど）の導入・排出機能を有する試料チャンバーを設置、その中に基板を置く。　レーザー光は上から、チャンバーの透明ガラスを通って、基板に照射し、平面内でスキャンしながら、お好みのパターン内に選択的にCVD成膜ができる　ご希望の目的に合わせて作製しますので、詳細はご相談ください。

概　要 :

炭化水素ガスによるチタン基板へのパターン化カーボン成膜