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負極活物質へのカーボンコートCVD装置

Si系/黒鉛負極材表面へのカーボンコート向けCVD装置 [MPCVD-Powder]

目 的: リチウムイオン電池のシリコン系あるいは黒鉛系負極活物質材の表面にカーボン膜を形成するための管状炉タイプ熱CVD装置です。
特 徴:
  • ・試料容器のモーター回転撹拌機構を搭載、均一な成膜を実現。
  • ・オプションで、連続処理機構も製作可能。
  • ・操作が簡単、安全性が高い。

 リチウムイオン電池の負極材として、高容量の特性を有するシリコン系の活物質材が主流となりつつあり ます。シリコン系負極材に導電性を付与するには、その表面にカーボン膜をコートする方法が考え出されています。

 本装置では、CVD法によって上述の活物質に数%~数十%のカーボン膜を成膜し、高い導電性を付与するとともに、 電解質液との反応を緩和させることができます。活物質の開発、改良に便利な実験装置です。カーボン成膜中は、試料回転 撹拌機構により、試料容器の底にある試料を表に出すことができ、より均一な成膜が可能になります。

MPCVD-Ni

※実際の商品は外観図と一部異なる場合があります。

回転炉_説明入写真.jpg

  Si粒子表面にコートされたカーボン膜のTEM写真。

carbon-coated SiーTEM.jpg
中性子スペクトル

カーボンコート前後のSi負極材の中性子回折スペクトル:
CVD処理後も元の活物質の結晶構造に変化(ダメージ)がないことを確認。