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真空蒸着成膜/ナノ粒子成膜

真空蒸着成膜/ナノ粒子成膜

各種金属の真空蒸着膜やナノ粒子膜の成膜サービスを行っております。

  • ・300mmφウェハーやA4サイズの大面積基板にも対応できます。
  • ・精密膜厚モニターにより、サブナノレベルの薄膜から数百nm以上の厚膜まで成膜できます。
  • ・小ロットも対応します。

大型蒸着装置

大型蒸着装置


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