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CVDプロセスガス分析装置

MP-Qmass

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MP-Qmass

※実際の商品は写真と一部異なる場合があります。

目 的: CVDプロセスのガス成分をその場で分析できる四重極質量分析システムです。

 当社の各種ナノカーボン製造装置やバイオマス炭化装置にそのまま組み込んで 使用できるように設計して あります。差動排気系を有し、高い圧力のCVD条件にも対応できます。

 CVD生成ガス中のガス成分を分析することにより、ガスの分解メカニズムの解明や、ナノカーボンの成長 メカニズムの解明など、各種材料開発に有用な情報が得られます。

MP-Qmass

トルエン成分が生成された場合の測定スペクトル例

主な仕様

四重極質量分析計
差動排気用高真空システム
抽出データ管理用パソコン