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粉末表面への真空蒸着装置

MPVAP-Powder  粉体試料・粒子の表面に金属膜を真空蒸着する装置

MPTH-Holder

※実際の商品は写真と一部異なる場合があります。

 粒状や粉末タイプの試料表面に各種金属薄膜をコートするための真空蒸着装置です。蒸発源を上方から 下向きに蒸発させることを可能にすることにより、固定できない粒子状試料への蒸着を可能にしました。当社発案のバイブ レーション試料台を搭載し、試料を振動・回転させながら蒸着できます。粒子の回転により、粒子各面に均一な蒸着が可能 で、蒸着斑が大幅に改善できます。

 お客様の既存の真空蒸着装置に、当社バイブレーション試料台と逆さま蒸発坩堝を組み込んで搭載させる ことも可能ですので、お気軽にお問い合わせください。

MPVAP-Holder模式図