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グローブボックス用真空搬送試料ホルダー

グローブボックス-真空蒸着装置間に移動する真空密封型試料ホルダー PVAP-Holder

MPTH-Holder

※実際の商品は写真と一部異なる場合があります。

目 的: 水分や酸素を嫌う試料に金属を真空蒸着するための、試料準備・真空搬送ホルダーです。
特 徴:
  • ・真空チャンバー構造を有する試料ホルダー
  • ・コンパクトサイズで、グローブボックスの中に搬送可能
  • ・グローブボックス中での真空排気が可能
  • ・真空蒸着装置ではチャンバーの蓋が自動解放
  • ・オプションで、試料ホルダー回転機構を追加可能
    

 水分や酸素を嫌う試料を大気に曝されずに試料ホルダーに設置し、その表面に金属膜を真空蒸着したい場合 があります。しかし、従来の真空蒸着装置では、この目的が実現できません;このような試料は通常は不活性ガスで満たされ ているグローブボックスの中で保管や取り扱われているため、別の場所に置かれている真空蒸着装置に試料設置準備ができな いからです。

 当社が新規開発した本ホルダーは、真空蒸着装置用の試料ホルダーを単独の真空チャンバー構造に改造し、 不活性雰囲気でのグローブボックスに持ち込んで試料を設置し、そのままホルダーチャンバーを真空引きできるようにしまし た。真空状態のホルダーチャンバーをグローブボックスから取り出し、当社の真空蒸着装置 MPVAPに移します。 真空蒸着装置のチャンバーを真空排気すると、ホルダーチャンバーの蓋が自動的に開放され、真空蒸着可能な状態になります。 本ホルダーは、弊社真空蒸着装置MPVAPに搭載するように設計されていますが、お客様の既存の真空蒸着装置の仕様に対応させ てカスタマイズすることも可能です。

MPVAP-Holder模式図