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カーボンマイクロコイル合成装置

MPCVD-CMC

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MPCVD-CMC

※実際の商品は外観図と一部異なります。

目 的: カーボンマイクロコイル(CMC)を合成するための管状炉(70㎜φ)タイプの
熱CVD装置です。
特 徴:
  • ・助触媒供給ユニットを搭載、高純度CMCの合成に有効
  • ・エタノール供給ユニットを搭載、低コストでのCMC合成に有効
  • ・加熱部と温度制御系が一体化された3ゾーン炉を使用

カーボンマイクロコイル SEM画像

カーボンマイクロコイル SEM画像

主な仕様

基本構成 管状炉 常用使用温度 400~1100℃
適応チューブ外径 ~75㎜φ
温度制御 3ゾーン プログラム付温度調節計
外形寸法 W890㎜×H700㎜×D420㎜
ブレーカー容量 AC200V 30A 単相50/60Hz
炉心管 材質 石英
サイズ OD70㎜×ID65㎜×L1200㎜
ガス制御 マスフローコントローラ
導入ガス種 キャリアガス
還元ガス
炭化水素ガス
外形寸法 W250㎜×H310㎜×D450㎜
真空計 ブルドン管真空計
排気ポンプ ロータリーポンプ
外形寸法 W156㎜×H200㎜×D300㎜
液体原料導入システム
助触媒供給ユニット(高圧タンク)
バブラー
脱臭装置
可燃ガス漏れ警報器