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酸化亜鉛(ZnO)ナノロッド

 酸化亜鉛は六方晶構造を持ち、CVD成長過程においてC軸方向への成長速度が速いため、ロッド状(針状)に成長しやすい。 基板にAuやZn触媒を成膜しておけば、垂直配向ロッドが基板上に成長することも可能。

ZnOテトラポッド

Si基板上に成長したZnOナノロッド