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CNTの選択成長

 CNTの成長速度は、触媒状態のみならず、基板材質や表面状態にも強く依存する。 基板表面に異なるパターンを有する異種中間膜や触媒膜を形成しておくと、望むパターン上に長さの異なるCNTパターンを 選択的に成長させることができる。

マスクしたパターン上に長さの異なる2種類の配向CNT膜を選択成長させた。